非对称放大检查系统和照射模块

摘要

一种照射模块，包括一对变形棱镜，所述一对变形棱镜包括第一变形棱镜和第二变形棱镜；其中所述一对变形棱镜被构造为(a)接收沿着第一光轴传播的第一辐射束，和(b)非对称地放大所述第一辐射束以提供沿着平行于所述第一光轴的第二光轴传播的第二辐射束；以及直角棱镜，所述直角棱镜被构造为接收所述第二辐射束并且执行所述第二辐射束的侧向移位以提供第三辐射束；以及旋转机构，所述旋转机构被构造为通过旋转所述第一变形棱镜和所述第二变形棱镜中的至少一个来改变所述一对变形棱镜的非对称放大倍率。