一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构

摘要

一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构，属于辐射加工技术领域。它包括加速管、漂移管、扫描电磁铁及带离子泵的扫描盒，扫描盒的顶部放置扫描电磁铁并与漂移管通过法兰盘二连接，漂移管的上端通过法兰盘一与加速管连接。其结构特点是，加速管和扫描盒由支架定位与固定，法兰盘二、法兰盘一均采用薄边法兰以焊接方式连接，加速管采用带排气口的驻波加速结构。本发明同现有技术相比，提高了加速器运行的稳定性和密封性，使整体体积变小，并可直接在高温排气炉内整体排气，省去漫长的加速管真空排气老练过程。更具备工程实用性。