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光诱导绝缘体表面金属化方法

摘要

本发明属于化学镀技术领域,特别属于光诱导绝缘体表面金属化方法。将覆有半导体薄膜的绝缘体镀件,直接浸入镀液中,同时加能使半导体薄膜在光照下能迅速发生电荷分离的可见光或紫外光照,光照强度为10~80毫瓦/平方厘米,照射时间为10~30秒。镀件上可预先带有图案,或在镀件表面加覆光栏,在镀液中直接光诱导金属化,形成图案。本发明无需传统的表面粗化、敏化和活化预处理,工艺简单,操作方便,成本低,安全系数高,成膜附着力强。

著录项

  • 公开/公告号CN1053713C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2000-06-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院感光化学研究所;

    申请/专利号CN97120323.7

  • 发明设计人 姚建年;杨永安;

    申请日1997-12-08

  • 分类号C23C18/14;

  • 代理机构上海华东专利事务所;

  • 代理人李柏

  • 地址 100101 北京市朝阳区大屯路甲3号内

  • 入库时间 2022-08-23 08:55:11

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2004-02-04

    专利权的终止未缴年费专利权终止

    专利权的终止未缴年费专利权终止

  • 2004-02-04

    专利权的终止未缴年费专利权终止

    专利权的终止未缴年费专利权终止

  • 2003-05-21

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20030411 申请日:19971208

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2003-05-21

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20030411 申请日:19971208

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2003-05-21

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20030411 申请日:19971208

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2000-06-21

    授权

    授权

  • 2000-06-21

    授权

    授权

  • 1998-09-09

    公开

    公开

  • 1998-09-09

    公开

    公开

  • 1998-08-19

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 1998-08-19

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

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