一种降低区熔POLY背封单抛片边缘晶孔的加工工艺

摘要

本发明提供了一种降低区熔POLY背封单抛片边缘晶孔的加工工艺，对酸腐片依次进行POLY背封、减薄和抛光，并对减薄后的清洗工序进行了优化匹配。本发明将减薄工序调整到POLY背封工序后，可将POLY背封过程产生的晶孔现象大大降低，本发明与现有工艺相比，加工步骤一样，加工成本未增加，大大提高了成品合格率，具有很高的实际应用价值。