探测器表面响应特性测试仪及其测试方法

摘要

一种探测器表面响应特性测试仪及其测试方法，该测试仪包括光学聚焦系统、XY两轴位置控制平台、信号放大与采集系统、控制与显示系统。由计算机分别连接并控制I/O端口和A/D转换器，I/O端口分别连接并控制X、Y轴步进电机驱动电路和半导体激光器，X、Y轴步进电机驱动电路分别连接并控制X、Y轴步进电机，从而控制二维位移平台，半导体激光器的光束经过设有直径0.1mm小孔的聚焦镜筒形成＜0.1mm直径的光斑，光斑照射于设在XY二维位移平台上的探测器表面使其产生响应的电信号，探测器表面经放大器连接A/D转换器，电信号经放大器放大后，由A/D转换器转换为数据信号送计算机处理。