公开/公告号CN112072003B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州迈为科技股份有限公司;
申请/专利号CN202010872188.4
申请日2020-08-26
分类号H01L51/56;H01L27/32;G09F9/30;
代理机构江苏瑞途律师事务所;
代理人王珒;韦超峰
地址 215299 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号
入库时间 2022-08-23 13:53:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-21
授权
发明专利权授予
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置
机译: 涂覆方法,密封材料制造方法,组件制造方法,涂覆装置和密封材料
机译: 无人小型飞机的飞行控制方法,内部空间状况及壁面状况检查方法