表面形状测量装置及表面形状测量方法

摘要

本发明为了提供一种能准确地检测工件曲面的变形的表面形状测量装置及表面形状测量方法，包括与门面板51的弯曲形状的外表面对置的激光位移计17、使激光位移计17相对门面板51的外表面沿上下方向移动的Z轴伺服电动机24、使激光位移计17沿左右方向移动的X轴伺服电动机22、及使激光位移计17沿激光位移计17和门面板51的外表面的对置方向移动的Y轴伺服电动机26，利用CPU21控制Y轴伺服电动机26，使得激光位移计17和门面板51外表面的对置方向的距离保持一定。