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研磨盘窗口盖、研磨盘及研磨机

摘要

本发明公开了一种研磨盘窗口盖、研磨盘及研磨机,其中,研磨盘窗口盖包括窗口盖本体和保护件;保护件设于窗口盖本体上,以用于在研磨时与研磨垫接触。本发明改进了研磨盘窗口盖的结构,解决了研磨盘窗口盖容易被研磨垫粘下来的问题,保护了研磨盘窗口盖,避免了多次重新安装,也解决了因研磨盘窗口盖安装不到位而导致研磨垫磨平的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN113319736B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-06-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京烁科精微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN202110787237.9

  • 发明设计人 田国军;崔凯;

    申请日2021-07-12

  • 分类号B24B37/34;B24B37/20;B24B37/04;

  • 代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司;

  • 代理人王锴

  • 地址 100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

  • 入库时间 2022-08-23 13:47:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-06-07

    授权

    发明专利权授予

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