硅基铁电微声学传感器畴极化区域控制和电极连接的方法

摘要

硅基铁电微声学传感器畴极化区域控制和电极连接的方法属于微声学传感器技术领域，其特征在于：上下电极对分为两类，分别位于微声学传感器振膜的中心区域和振膜的边缘区域，两个区域内的电极对分别串联，然后两个区域的串联电极对再串联，其中两个未连接端构成微声学传感器的输出端。在同一区域内，相邻且电学相连的串联电极对间的铁电薄膜的畴极化方向相反，而不同区域间，相邻且电学相连的串联电极对间的铁电薄膜的畴极化方向相同。采用这种可选择的铁电薄膜材料的畴极化方向的区域控制和电极连接的方法，可使微声学传感器的电压灵敏度得到成倍的提高。