测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法

摘要

本发明提供一种测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。一种测定测头的不良状况判定单元，该测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；四个检测元件，其能够检测接触部的移动；以及信号处理部，其对从四个检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，该测定测头的不良状况判定单元具备：不良状况判定部，其在被测定物不与接触部接触的状态下，将与生成信号对应的四个判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个判定信号大于规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及判定结果输出部，其输出不良状况判定部的判定结果。由此，能够通过简单的结构来确保测定的可靠性。