公开/公告号CN108899368B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-20
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201810696072.2
发明设计人 周正良;
申请日2018-06-29
分类号H01L29/778;H01L21/335;H01L29/06;
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人戴广志
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2022-08-23 13:42:01