使用物理对准标记和虚拟对准标记进行对准

摘要

一种用于加工电气器件(100)的对准的方法，其中，该方法包括：在电气器件(100)上限定至少三个物理对准标记(102)；基于所限定的至少三个物理对准标记(102)确定至少一个虚拟对准标记(104)；以及利用物理对准标记(102)中的至少三个和至少一个虚拟对准标记(104)中的至少一个进行对准以加工电气器件(100)。