使用物理对准标记和虚拟对准标记进行对准

摘要

一种针对加工电气器件(100)进行对准的方法，其中该方法包括：在电气器件(100)上限定多个物理对准标记(102)，基于物理对准标记(102)确定多个虚拟对准标记(104)，并且使用物理对准标记(102)中的至少一部分和/或虚拟对准标记(104)中的至少一部分进行对准，来加工电气器件(100)。