扫描电镜的样品平台及扫描电镜

摘要

本发明公开了一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜，样品平台包括：基座；样品承载台，样品承载台用于沿周向放置多个样品；旋转驱动组件，旋转驱动组件设在基座上且具有可旋转的驱动端；电流引导组件，电流引导组件包括绝缘座、第一导电件和第二导电件，绝缘座设在驱动端上且连接样品承载台，以使样品承载台旋转，第一导电件连接样品承载台，第一导电件为围绕样品承载台的转动轴线设置的环形，第二导电件电接触第一导电件以向外输出样品的电信号。本发明通过设置旋转驱动组件驱动样品承载台旋转，样品承载台可承载多个样品，同时设置第二导电件始终接触环形的第一导电件，实现在样品承载台旋转的同时收集电信号，提高检测效率。