公开/公告号CN112986906B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 中国计量大学上虞高等研究院有限公司;中国计量大学;
申请/专利号CN202110203349.5
申请日2021-02-23
分类号G01S5/02;G01S5/06;G01S11/06;
代理机构杭州求是专利事务所有限公司;
代理人万尾甜;韩介梅
地址 312000 浙江省绍兴市上虞区曹娥街道江西路2288号浙大网新科技园A1楼401.402
入库时间 2022-08-23 13:34:48
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置