一种集成共焦法与三角法的位移测量方法

摘要

本发明公开了一种集成共焦法与三角法的位移测量方法。现有位移测量方式存在精度与量程之间的矛盾。本发明在激光共焦位移传感器探头一侧安装聚焦透镜及位置敏感元件，测量时激光共焦位移传感器进行高精度测量，获取测量值，同时三角法位移测量系统也对激光入射点进行测量，测量数据辅助判断被测点是否在激光共焦位移传感器的量程范围内，若共焦位移传感器超量程，则三角法位移测量系统获取当前测量点的位置值，然后利用该位置值引导三坐标测量机的Z轴沿Z坐标轴方向移动，使测头装置回到激光共焦位移传感器的量程范围内，然后继续测量。本发明能够在保证高精度测量的条件下，同时实现对激光共焦位移传感器量程的扩展。