基于光源扫描的三角法位移测量方法

摘要

对激光三角法测量位移的几种光路布局方案及其特点进行了比较,在此基础上,提出了一种新的基于光源扫描的三角法激光位移测量方法,阐述了激光三角法测量原理,并设计了相应的测量系统,分析了影响系统精度的因素.理论分析可知,该系统的测量分辨力可达到1.5×10-5 m.实验结果表明:此系统有很强的实用性,测量范围为0 mm～10 m,适用于工业生产.