一种用于微细电沉积加工的喷头及微细电沉积加工装置

摘要

本发明提供了一种用于微细电沉积加工的喷头，包括：三通转接头、喷嘴和阳极，阳极插接于三通转接头的第一接口，喷嘴插接于三通转接头的第二接口，三通转接头的第三接口用于插接供液管；所述喷嘴的内部流道朝着出液口方向呈多级阶梯式缩小，所述阳极的一端与所述第一接口的内壁连接，另一端伸入到所述喷嘴内部，所述阳极伸入喷嘴内部的一端与所述喷嘴的内壁间隔一定距离。本发明还提供了一种微细电沉积加工装置。本发明能够解决管状电沉积喷头加工时副产物容易堵塞碰嘴的问题，同时阶梯状的内部流道结构能够解决锥形电沉积喷头无法精确控制内径的大小和壁厚的问题，从而降低加工成本。