检查方法、检查·通知方法、包括该检查方法的制造方法、检查装置及制造装置

摘要

一种对具有图案的板状的被检查物进行检查的检查方法，具有：对所述被检查物的被检查面进行摄影以获得图像的摄影步骤；针对摄影步骤中获得的原图像，通过设定阈值生成将层次数值化为2值或3值后的图像的数值化步骤；及使用所述数值化步骤中生成的图像，对所述被检查物进行判定的判定步骤。