公开/公告号CN100524025C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-08-05
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML控股股份有限公司;
申请/专利号CN03152381.1
发明设计人 亚历山大·克拉莫;斯坦利·W·卓兹克维兹;
申请日2003-07-31
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰费尔德霍芬
入库时间 2022-08-23 09:02:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20090805 终止日期:20170731 申请日:20030731
专利权的终止
2009-08-05
授权
授权
2009-08-05
授权
授权
2005-10-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-10-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-04-07
公开
公开
2004-04-07
公开
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