片盒监控方法、片盒监控装置及半导体加工系统

摘要

本发明提供的片盒监控方法，用于防止工件重复工艺，当指定槽位中存放有工件时，先获取并存储片盒的该指定槽位的工件状态，当接收到指定槽位中的工件对应的执行任务请求时，读取该槽位的工件状态，若工件状态为已处理状态，则停止执行任务，若所述工件状态为待处理，则执行任务。由此，可以根据不同的工件状态自动执行任务或者停止执行任务，从而可以避免受到人为因素的影响，进而避免将已处理状态的工件再次传入工艺腔室进行重复工艺，可以有效降低坏片率，进而提高工件生产效率。