光电倍增管使用的高量子效率低热发射的双碱光电阴极及其制备方法

摘要

本发明属于光电倍增管技术领域，公开一种光电倍增管使用的高量子效率低热发射的双碱光电阴极及其制备方法，获得的双碱光电阴极结构呈多层碱锑化物依次堆叠在基底上，从双碱光电阴极的基底至外表面方向上碱锑化物的组成呈锑元素逐渐减少、碱金属元素逐渐增多的规律，提高了微通道板型光电倍增管的量子效率；在制备过程中通过对钾和锑同蒸第一阶段中调整增加锑球电流的速率来控制光电流拐点，通过对钾和锑同蒸第二阶段中关锑观察反射率变化的综合调控，降低光电阴极的热电子发射，从而降低双碱阴极积分灵敏度，改善微通道板型光电倍增管的噪声，工艺一致性较好。