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20'光电倍增管阴极制备产业化设备

摘要

对20英寸光电倍增管制造的关键工艺设备——三工位阴极转移系统进行了简要的介绍,该系统可以在一台设备上完成3只20英寸光电倍增管的排气、阴极激活、电子清刷、转移、铟封等几个关键工序.

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