一种基于微电子机械系统技术的微型光谱仪

摘要

本发明提出了一种基于微电子机械系统技术的微型光谱仪，包括光纤连接器、入射狭缝、反射镜、闪耀光栅、聚焦镜和探测器等组成部分。反射镜采用微电子机械系统技术(MEMS)制作而成，其镜面可在外加信号的控制下周期性运动；闪耀光栅为色散元件，与反射镜一起构成分光光路系统。在光路设计上，待测光信号由光纤连接器引入后，经反射镜、闪耀光栅分光后，特定波长的单色光，由聚焦镜会聚进入探测器；通过反射镜镜面的周期性运动，各种波长的单色光进入探测器，完成光谱的扫描。本发明提出的基于微电子机械系统技术器件的微型光谱仪具有体积小，光谱范围广，成本低廉等优点。