公开/公告号CN110677454B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江省水利河口研究院;
申请/专利号CN201910764155.5
申请日2019-08-19
分类号H04L67/12(20220101);H04L41/12(20220101);G08B21/18(20060101);G01N33/18(20060101);
代理机构11696 北京国翰知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人徐佳晶
地址 310012 浙江省杭州市江干区凤起东路50号
入库时间 2022-08-23 13:27:10
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置