非接触式微转子振动位移的激光测量方法

摘要

一种非接触式微转子振动位移的激光测量方法，属于微机电技术领域。本发明利用发射器发射激光光带扫描运动状态中的微转子，微转子在高速运转下的运动轨迹的投影记录用CCD位移传感器及图像采集卡采集微转子运动图像再运用图像处理技术来得到振动信号，其中：采用硬件系统负责微转子的高速运转，实现转速的稳定可控，转子转动的振动图像信号的采集；采用软件系统对采集得到的图像信号进行处理，提取图像中特征点的位移变化，从而得到微转子上固定点的运动轨迹。本发明机构简单，原理明确，测振效果好，精度高，且对微电机转子系统振动本身的影响几乎可以忽略。