公开/公告号CN111323761B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 北京华力创通科技股份有限公司;
申请/专利号CN202010199280.9
申请日2020-03-20
分类号G01S7/40(20060101);G01S13/90(20060101);
代理机构11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司;
代理人唐岩
地址 100000 北京市海淀区东北旺西路8号院乙18号楼
入库时间 2022-08-23 13:25:31
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置