一种MEMS三轴陀螺仪

摘要

本发明实施例公开了一种MEMS三轴陀螺仪，包括由内到外依次布置的中央锚点、第一子质量块、第一解耦结构、第二子质量块和第三子质量块。当第一子质量块在绕第三方向的驱动模态下发生谐振时，其运动方向近似于沿第一方向运动，当第一子质量块受到绕第二方向的角速度时，会产生沿第三方向的科氏力，在科氏力作用下第一子质量块会产生绕第一方向的位移，由于第一解耦结构的轴也在第一方向上，因此，第一子质量块在第一方向的检测模态下仅有很小的一部分力传递到第一解耦结构上，而第一解耦结构传递给第二子质量块的力也会很小，减少了第一子质量块和第二子质量块之间的运动干扰，从而减少了MEMS三轴陀螺仪的轴间信号串扰。