一种三轴MEMS陀螺仪

摘要

本发明提供了一种三轴MEMS陀螺仪，其包括第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块，各质量块间通过弹簧梁和/或刚性梁连接；所述第一质量块被设置为可沿X轴方向活动；所述第二质量块被设置为可绕X方向轴线、Y方向轴线和Z方向轴线转动，并且当所述第一质量块沿X轴方向活动时驱动所述第二质量块绕所述Z方向轴线转动；所述第三质量块被设置为可沿X轴方向和Y轴方向活动，并且当所述第一质量块沿X轴方向活动时驱动所述第三质量块沿Y轴方向活动；所述第四质量块被设置为可沿X轴方向活动，并且当所述第三质量块沿X轴方向活动时驱动所述第四质量块也沿X轴方向活动。