基于光谱共焦的高精度面形测量方法及装置

摘要

本发明提供了一种基于光谱共焦的高精度面形测量方法，包括：利用一个或两个扫描探头照射出相互交叉的参考线光谱和扫描线光谱，参考线光谱和扫描线光谱的夹角为θ，且0°＜θ＜180°；根据扫描线光谱的扫描宽度，将测量对象的上表面划分为相应宽度的多个单元区；通过移动扫描探头，分别对每个单元区进行扫描，收集扫描线光谱的测量数据以及参考线光谱的测量数据；利用同单元区参考线光谱的测量数据对同单元区扫描线光谱的测量数据进行校准；将校准后扫描线光谱的测量数据对测量对象的上表面的三维形貌重构。本发明还提供了一种基于光谱共焦的高精度面形测量装置。本发明的装置结构设计合理，操作便捷，本发明的方法能够实现物体面形测量，测量精度高。