基于光谱共焦的高精度分步面形测量方法及装置

摘要

本发明提供了一种基于光谱共焦的高精度分步面形测量方法，包括：利用扫描探头照射出线光谱；根据扫描线光谱的扫描宽度，将测量对象的上表面划分为相应宽度的多个单元区；线光谱垂直于三维运动平台的扫描运动方向从单元区的一端截面向另一端截面运动进行初步扫描，将扫描探头和线光谱旋转角度θ，并移动至初始位置，扫描探头从单元区的一端截面向另一端截面运动进行二次扫描，收集初步扫描的测量数据以及二次扫描的测量数据；利用同单元区二次扫描的测量数据对同单元区初步扫描的测量数据进行校准；将校准后初步扫描的测量数据对测量对象的上表面的三维形貌重构。本发明还提供了基于光谱共焦的高精度分步面形测量装置。