公开/公告号CN111854604B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 西安中科微精光子制造科技有限公司;
申请/专利号CN202010736560.9
申请日2020-07-28
分类号G01B11/00(20060101);G01B11/24(20060101);
代理机构61253 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李斌栋;姚勇政
地址 710066 陕西省西安市高新区丈八街办创汇路32号电子一车间301室
入库时间 2022-08-23 13:18:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
授权
发明专利权授予