一种通过聚焦激光束测量气膜孔的形位参数的方法及系统

摘要

本发明实施例公开了一种通过聚焦激光束测量气膜孔的形位参数的方法和系统，该方法可以包括：将所述聚焦激光束在所述气膜孔的孔壁内表面上旋切扫描一周；扫描过程中采集所述孔壁内表面产生的漫反射激光的表征量；相应于所述聚焦激光束的焦点沿着所述孔壁内表面移动，根据所述漫反射激光的表征量获取所述气膜孔的形位参数。