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使用砷化镓光电阴极的三代像增强器的制作方法

摘要

本发明涉及一种使用砷化镓光电阴极的三代像增强器的制作方法,将各个工作室用惰性气体置换空气,当各个工作室内的大气压强不高于预定值后,进行像增强器的生产加工。采用本发明所述的技术方案,不但可以提高生产效率,还可以大大提高产品合格率。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-06-11

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 9/00 授权公告日:20090610 终止日期:20130420 申请日:20070420

    专利权的终止

  • 2009-06-10

    授权

    授权

  • 2007-12-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-10-17

    公开

    公开

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