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公开/公告号CN108070849B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-11
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201711121327.4
发明设计人 J·厄赫;H·K·波内坎蒂;
申请日2017-11-14
分类号C23C16/52(20060101);C23C16/44(20060101);C23C16/455(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖;金红莲
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 13:15:24
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