公开/公告号CN114630922A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-14
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN202080076762.3
申请日2020-02-24
分类号C23C14/56;C23C14/54;
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 15:39:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-14
公开
国际专利申请公布