一种用于光学元件表面荧光特性颗粒检测的装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于光学元件表面荧光特性颗粒检测的装置及方法，包括：紫外荧光成像系统，其连接有控制电脑；运动机构，紫外荧光成像系统设置在运动机构上；将紫外荧光成像系统固定于运动机构上，将光学元件放置于底座内；通过运动机构的支架调整紫外荧光成像系统与光学元件的距离，使其成像最清晰；控制电脑控制紫外荧光成像系统，使用CCD相机拍照并分析检测结果；通过运动机构的纵向导轨、横向导轨和竖直导轨移动紫外荧光成像系统，并重复进行拍照分析，完成对光学元件的抽样检测。本发明可根据成像镜头的工作距离，通过运动机构调节紫外荧光成像系统与光学元件之间的距离。本发明检测方法为无损检测，与光学元件无接触，无二次污染产生。