拾取单元和半导体器件的包括该拾取单元的拾取系统

摘要

一种拾取装置包括沿着第一方向滑动的多个拾取器以及包括多个空间调节板的空间调节器。每个拾取器包括与拾取器主体组合的突出部分，以及每个空间调节板在相邻拾取器的相应对之间。每个拾取器的突出部分接触相邻空间调节板的侧壁。空间调节板中的至少一个沿着交叉第一方向的第二方向移动。每个空间调节板在第一方向上的宽度沿着第二方向变化。