基于液体毛细力和表面张力的转印方法和转印头

摘要

提供了一种基于液体毛细力和表面张力的转印方法和转印头。转印方法包括：液膜形成步骤：在转印头的转印面施加液体，液体能够在转印面与薄膜器件之间形成液膜，液膜的毛细力和表面张力用作转印面与薄膜器件之间的结合力；提起步骤：利用液体在转印面与薄膜器件之间形成第一结合力，第一结合力大于薄膜器件与原衬底之间的结合力，移动转印头而使薄膜器件从原衬底脱离；放下步骤：使薄膜器件接触目标衬底，调整转印面的形状和/或液膜的液体量以在转印面与薄膜器件之间形成第二结合力，第二结合力小于薄膜器件与目标衬底之间的结合力，移动转印头而使薄膜器件从转印头脱离。该转印方法简单易行，依靠液体的效应实现转印，成品率高。