基于原子力显微镜的高精度样品旋转台装置

摘要

本发明涉及一种基于原子力显微镜的高精度样品旋转台装置，包括旋转台主体以及位于旋转台主体上的样品安装座和用于固定旋转台主体的磁吸底座；所述旋转台主体通过所述磁吸底座固定于原子力显微镜扫描器平台上；所述旋转台主体包括样品台、磁性旋转编码器和2个椭圆压电谐振电机，样品台侧面固定有塑料圈，椭圆压电谐振电机的顶端与塑料圈紧密接触，2个椭圆压电谐振电机相对安装，一个用于推动塑料圈运动，另一个用于拉动塑料圈向反方向运动；磁性旋转编码器的磁盘安装在样品台上。本发明的装置适用于原子力显微镜在有限的尺寸空间，重量受限的情况下，为样品提供高精度的角度旋转，拓宽了原子力显微镜的应用场合及研究范围。