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环状锍和氧化锍及含有它们的光致酸生成剂和光刻胶

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摘要

提供了新的光致酸生成剂(PAG)和含有这类化合物的光刻胶组合物。特别提供了环状锍和氧化锍PAG。本发明的PAG特别用作在诸如248nm、193nm和157nm的短波长成像的光刻胶的光活性成分。

著录项

  • 公开/公告号CN100476583C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-04-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 希普雷公司;

    申请/专利号CN02154275.9

  • 发明设计人 J·F·卡梅隆;G·珀勒斯;铃木泰弘;

    申请日2002-10-05

  • 分类号G03F7/038(20060101);C08L25/18(20060101);H01L21/027(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人朱黎明

  • 地址 美国马萨诸塞

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-01-05

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/038 授权公告日:20090408 终止日期:20091105 申请日:20021005

    专利权的终止

  • 2009-04-08

    授权

    授权

  • 2004-10-27

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-08-27

    公开

    公开

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