公开/公告号CN110211900B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-25
原文格式PDF
申请/专利权人 昆山国显光电有限公司;
申请/专利号CN201910470718.X
发明设计人 张帆;
申请日2019-05-31
分类号H01L21/67(20060101);
代理机构11659 北京远智汇知识产权代理有限公司;
代理人张海英
地址 215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
入库时间 2022-08-23 13:10:14
机译: 带电池板和冷却板的干刻设备
机译: 干刻设备的气体分配板
机译: 干刻设备的气体喷涂板