滤波器控制式导出方法、光测量系统、法布里-帕罗干涉滤波器的控制方法及滤波器控制程序

摘要

本发明的滤波器控制式导出方法具备：准备步骤，其准备通过静电力与弹性力平衡而控制固定镜部(35)与可动镜部(36)间的距离(x)的法布里‑帕罗干涉滤波器；第1导出步骤，其通过实施规定的测量，而导出将可动镜部(36)的弹性指标(k)作为将可动镜部的挠曲量(m)设为变量的2次以上的多项式而记述的挠曲量(m)与弹性指标(k)的关系式；及第2导出步骤，其基于挠曲量(m)与弹性指标(k)的关系式、以及静电力与弹性力的关系式，将透过法布里‑帕罗干涉滤波器的光的透过波长与电压(V)的关系式作为滤波器控制式导出；在第1导出步骤中，在作为电压施加互不相同的多个电压的各个的状态下，测量透过法布里‑帕罗干涉滤波器的光的透过波长。