一种气浴装置的栅格板设计方法、栅格板、气浴装置及光刻机

摘要

本发明属于光刻技术领域，具体公开了一种气浴装置的栅格板设计方法、栅格板、气浴装置及光刻机。本发明提供的栅格板设计方法包括：S1：确定栅格板的初始的设计参数，所述栅格板包括多个栅格；S2：根据设计参数，建立气浴装置的流体仿真模型；S3：计算获得流体出口的流体数据；S4：判断流体数据是否满足预设条件，如果是，执行S5，如果否，执行S6；S5：根据流体数据调整每个栅格或部分栅格的通风面积，更新设计参数并返回至S2；S6：获取每个栅格的最优通风面积。栅格板采用上述的栅格板设计方法形成，气浴装置包括上述的栅格板，光刻机包括上述的气浴装置。本发明提供的栅格板设计方法、栅格板、气浴装置及光刻机，提高了流体出口的流动均匀性和稳定性。