用于测量液体介电常数的高灵敏度微流体传感器

摘要

本发明公开用于测量液体介电常数的高灵敏度微流体传感器。本发明从上到下依次包括共面波导传输线、介质层、电磁带隙结构,其中电磁带隙结构为周期性结构，各单元结构之间通过微带线连接。所述微流体通道置于电磁带隙结构的下侧，完全覆盖两个电磁带隙单元结构环形缝隙位置，并汇聚于上下两个端口，液体样品在其中一个端口用针孔注入，再从另一端口流出。本发明结构以EBG结构为基础，其微流通道被设计为覆盖整个EBG结构槽环的分流支路，明显增加了围绕电场的路径，改善了目前微流体传感器灵敏度较低且质量因子Q值较低的情况，明显提高了灵敏度，同时具有较高的Q值，保证了测量的高分辨率和精确度。