公开/公告号CN111398774B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司;
申请/专利号CN202010191560.5
申请日2020-03-18
分类号G01R31/265(20060101);G01R31/26(20140101);
代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人许静;张博
地址 710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
入库时间 2022-08-23 13:07:01
机译: 用于加工光伏应用的硅片的装置,具有切碎装置,该装置将硅片破碎并包括衬里,以及用于分离硅片和杂质的分离器
机译: 硅片保持装置,硅片输送装置,硅片输送系统及输送方法
机译: 硅片保持装置,硅片输送装置,硅片输送系统及输送方法