公开/公告号CN111505228B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国地质科学院岩溶地质研究所;
申请/专利号CN202010299240.1
申请日2020-04-16
分类号G01N33/18(20060101);
代理机构11416 北京恒律知识产权代理有限公司;
代理人庞立岩;顾珊
地址 541000 广西壮族自治区桂林市七星区七星路50号
入库时间 2022-08-23 13:06:01
机译: 基板处理设备,沉积物监测设备和沉积物监测方法
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