一种太阳能P型多晶硅片的制作工艺

摘要

本发明公开了一种太阳能P型多晶硅片的制作工艺，生产工序步骤包括：（1）原料准备；（2）P型硅锭的制备；（3）硅锭的切割开方；（4）硅片的切割和清洗；所用原料包括：纯度6N的原生硅料、循环硅料、掺杂剂镓；所述循环硅料包括循环硅板、循环硅块、循环硅片、循环硅粉。其中的循环硅料在使用前需经过去杂提纯处理，铸锭时在坩埚边缘用循环硅料填充，在坩埚中心用掺杂镓的原生硅料填充，原生硅料中镓的掺杂浓度从坩埚底部到坩埚顶部逐渐减小，顶部镓的浓度为零，然后将装填硅料的坩埚置于微波烧结炉中，在氩气保护下经过升温、保温、降温后出炉，即得到镓掺杂均匀的P型硅锭。本发明充分利用了循环硅料，制备的硅片品质稳定。