全光集成且含非线性机械振子的光机械微腔结构

摘要

本发明公开一种全光集成且含非线性机械振子的光机械微腔结构，属于微纳光电子微腔传感领域。包括第一微纳梁、第二微纳梁、线性机械振子、非线性机械振子与测量微盘；第二微纳梁固定连接在线性机械振子的一侧，且第二微纳梁与第一微纳梁之间具有空气间隙；非线性机械振子串联在线性机械振子的另一侧，非线性机械振子上设计有微纳探针，测量微盘设计在与微纳探针相邻的位置，测量微盘与微纳探针之间具有第一空气槽；第一微纳梁、第二微纳梁、线性机械振子、非线性机械振子的底部均悬空。将可移动的微纳梁设计在一个含有非线性机械振子中，以实现全光片上集成的腔光力驱动的非线性光‑机械耦合特性的实验研究。