基于SiO2-SiN耦合芯片结构的光纤陀螺用的集成光学芯片

摘要

本发明实施例公开了一种基于SiO2‑SiN耦合芯片结构的光纤陀螺用的集成光学芯片，包括第一光纤‑SiO2波导模式转换器、第二光纤‑SiO2波导模式转换器、第一3dB SiO2耦合器、第一SiO2‑SiN波导模式转换器、SiN连续曲率弯曲波导起偏器、第二SiO2‑SiN波导模式转换器、第二3dB SiO2耦合器、第三光纤‑SiO2波导模式转换器及第四光纤‑SiO2波导模式转换器。本发明在保证开环光纤陀螺精度的同时，可有效提高其稳定性、可靠性，实现开环光纤陀螺的更小型化、更低功耗、更低成本、更简单结构设计及工艺。